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반도체사업부

1. 반도체 세정 D/H Overhaul

CANON APT SYSTEM의 핵심 부품인 Dispersion Head Overhaul을 Main 업무로 진행하고 있으며, 그를 바탕으로 한 Know-how와 연구개발로 반도체 공정의 다양한 재질의 부품을 정밀 세정.

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D/H (Dispersion Head)란?

D/H란 반도체 생산 공정 중 여러종류의 Gas를 분사하여 웨이퍼(Wafer) 위에 박막을 증착시키는 APCVD공정에 사용되는 일본 CANON사 장비의 핵심부품을 말하며, 박막 증착 시 Gas가 균일하게 분사되도록 분사노즐의 역할을 수행하는데, 분사시 Gas의 증착 등으로 오염되면 반도체 생산수율을 현저히 떨어뜨리는 원인이 됩니다.

D/H Overhaul의 필요성

공정 중에 사용되는 Gas들의 화학반응을 통하여 웨이퍼뿐만 아니라 D/H에도 Gas화합물이 다량 증착 되는데, 이렇게 D/H에 증착된 화합물들은 오염원이 되어 반도체 수율을 현저히 저하시키는 원인이 되므로 반도체 생산 수율을 일정하게 유지하기 위해서는 반드시 정기적인 Overhaul을 실시해야 합니다.

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㈜에이씨티의 D/H Overhaul의 효과

1995년부터 국내 최초로 D/H Overhaul 서비스를 시작한 이래 ㈜에이씨티는 국내 세정분야의 선두기업으로 자리매김 해 오고 있으며, 끊임없는 연구 개발을 통해 D/H Overhaul 전자동 세정장치를 독자 개발하는 등 최고의 기술력과 신뢰도를 검증 받아 국내뿐 아니라 미국, 유럽, 일본, 동남아 지역에서 까지 D/H Overhaul 서비스를 요청 받고 있습니다.

㈜에이씨티의 D/H Overhaul 서비스 특장점

- 수명 연장 : 평균 3~4년인 D/H 수명을 Overhaul을 통해 반영구적으로 연장.
- 반도체 생산 수율 안정화 : 반도체 생산 수율을 일정하게 유지하도록 함.
- 반도체 생산 비용 절감 : 신 장비, 신품 D/H의 수입 비용을 크게 감소시킴.
- One step service : 탈착에서 세정, 검사, 재장착, 공정 튜닝까지의 모든 과정의 일원화로 신뢰성 높은 서비스를 제공.

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2. CO₂ 세정

CO₂의 일반 성질

CO₂는 대기의 0.03%를 차지하는 비활성 기체로 공기보다 무거우며 상온에서 무색, 무취, 무독성, 비전도성 성질을 갖습니다.
우리가 흔히 얘기하는 Dry Ice는 고체상태의 CO₂를 말하며 승화성이 있어 식품의 보관이나 수송에 냉각제로 사용됩니다.
-57℃, 5.1 atm(75 psi)에서 기체, 액체, 고체가 공존하는 삼중점(triple point)을 가지며, 임계점(critical point)은 31℃, 72.8 atm(1071 psi)로 알려져 있습니다.

CO₂ 세정의 원리

CO₂ Gas를 고체입자(Dry Ice Pellet)로 제조하여 에어로졸제트 형태로 기판 위에 충돌 승화시켜서 오염물을 제거하는 세정방법으로, 충돌 후 팽창하는 Dry Ice의 물리적인 힘과 열역학적 힘을 이용한 세정 메커니즘에 의한 세정 효과가 나타납니다.

㈜에이씨티 CO₂세정의 특성 및 효과

- 독자적인 CO₂ 자동 세정 시스템을 보유하여 초 정밀세정이 가능.
- Snow gun을 이용한 particle의 최소화 관리 및 체계적이고 균일한 품질 유지.
- 유해 chemical을 사용하지 않는 환경친화적인 세정공정 구축.
- 습식세정과 연계하여 세정효과를 극대화하며 chemical 사용량을 획기적으로 줄여, 전체적인 세정비용 절감.

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3. 오존제너레이터

SUMITOMO정밀(한국대리점)

- LCD,반도체용 Ozone (Water) Generator의 판매 및 Repair

Ozone Generator의 특성

- 고농도(350g/m3(N)(23wt%)
- N2 Free 고농도 대응
- Ozone 농도의 안정성
- 초순수의 Ozone

Ozone Generator의 적용 분야

- ALD, Photo-resist Strip
- LPCVD, Wet Cleaning,
- Organic Carbon Removal

4. 반도체 부품

Parts Offer 및 Saint Gobain Seal 판매(LCD, 반도체 주 판매권)

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Teflon Lip Seal 의 특성

- 고정용과 운동용(회전,왕복)으로 사용
- 대부분의 화학약품과 유기용제에 사용가능
- 극저온에서 고온, 고진공부터 고압까지 사용
- 각종 약품에 대한 Seal의 재질이 다양하게 마련
- JIS B2406,AS 568,DIN 규격에 의해 제작되며 특수 규격도 제작가능
- 특수 Spring 채택으로 Seal의 탄성을 지속적으로 유지하기 때문에 매우 긴 수명을 갖고 있음

5. 주요고객

S. KOREA

Hynix Semiconductor / Samsung Electronics Corp / Magnachip Semiconductor / DB HiTek / 기타 Foundry 업체

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SOUTH EAST ASIA

CASPER


JAPAN

Canon MJ / Canon SE Inc. / Appex Corporation / Toshiba

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USA

Canon USA